多弧离子镀与磁控溅射,蒸发镀之间的区别
多弧离子镀与磁控溅射,蒸发镀之间的区别 三者的区别在于工作原理不同
蒸发镀:通过蒸发镀加热使膜材蒸发。蒸发镀有电阻加热式、电子束加热式、感应加热式。
磁控溅射镀:磁控靶是静止电磁场,磁场为曲线形,以磁场改变电子运动方向,是展于高密度的等离子体异常辉光放电。其特点是溅射能量低,基本温度低。
多弧离子镀:多弧靶是电弧蒸发源,是冷阴极电弧放电型自持自离化的固体蒸发源。其特点是离子能量高,沉积速率高,膜层改密性高,单固性好。
蒸发镀主要做玻璃和塑胶,俺不懂,毛主席老人家说得好,没有调查就没有发言权.在此说说磁控和多弧
磁控能对多种金属进行溅射,膜厚和颜色比较容易控制,膜层颗粒细能满足良好外观要求.沉积时间较长,膜层耐磨性不如多弧.
多弧的优点就是磁控的缺陷,还有就是对有些靶材镀出来外观效果不理想如金,不锈钢等
不过二者结合起来用的也大有人在.
1.真空蒸发镀膜:利用热蒸发器的真空镀膜机生产镀膜玻璃,因整体生产是断续进行的,清洗后的部分玻璃常常需在车间中等待一段时间后方可进行镀膜室镀膜,此时,玻璃会受到二次污染,致使被污染部分镀上的膜层易脱落,膜层的均匀性差,易有彩虹色差及反射率偏高, 并且玻璃只镀一层膜,极易在空气中变色且不能生产大规格玻璃。因此,建设部作出明确规定,此类镀膜玻璃不易作幕墙玻璃。在国内可看到许多大厦的幕墙玻璃出现每块玻璃四周发白,中间发黑,斑斑剥剥都是由于错误地选择了这种镀膜玻璃引起的。当然这类玻璃价格低廉一般在80元~100元/m2就可买到。个别装饰公司为牟暴利选择此类玻璃坑骗用户。
2.真空磁控阴极溅射法:平板玻璃在具有高真空的真空腔体内,处在负电压的两极间的工作气体正离子在正交电磁场的作用下飞向阴极,在很短的阴极位降区内获得很大的能量去迅速轰击靶材,从而使阴极(靶材)原子飞向玻璃基片--玻璃沉积膜层,溅射出的二次电子(此过程称γ过程)在电磁场作用下按旋轮线运动参与碰撞电离,蟹衍载流子,这样就能源源不断地轰击阴极,提供足够数量的正离子,形成的等离子区使持续辉光放电,其可以一次完成多层镀膜,有着极好的膜层均匀性,卓越的边缘复盖和良好的附着力。这里特别要提到的是德国"LH"公司生产的镀膜机,有着优于和区别于其它真空磁控溅射镀膜机的地方是:它的平面磁控靶上的磁场是由环形永久磁铁产生的,可将半园环形永久磁铁看成是无限T微扇柱状磁铁的组合。所以,其相应点磁标势较稳定,才能生产出均匀牢固的镀膜层。